Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Description
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.
Technical Details
| age: | 0 |
| author: | Геннадий Кузнецов |
| genres_list: | 5314,5763 |
| lang: | ru |
| publisher: | МИСиС |
| Type: | book |
| year: | 2012 |
| Форматы: |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
1%
~ 1,810.00 руб.
Женский топ с длинным рукавом, пальто с капюшоном, Лоскутная кожаная куртка с капюшоном, Женские повседневные куртки, светильник, Женская ку...
aliexpress.ru
+7%
1%
~ 600.00 руб.
Изолированные сумки для ланча из тяжелого металла с изображением рок-стельков для школы и офиса, герметичный термобокс для ланча для женщин и детей
aliexpress.ru
