Формирование функциональных слоев
Description
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Technical Details
| age: | 0 |
| author: | Юрий Панфилов |
| genres_list: | 5312 |
| ISBN: | 978-5-7038-5350-4 |
| lang: | ru |
| publisher: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Type: | book |
| year: | 2020 |
| Форматы: |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
2,996.50 руб.
Loafers women s skirt thick heel high heels British style small leather shoes comfortable temperament square head new black single shoes 39 чорний
joom.com
376.24 руб.
QXQY Velvet Matte Setting Powder: Soft Focus, Long-Lasting, Skin Tone Modifier, Lightweight & Non-Cakey Finish. 18g
joom.com
719.23 руб.
Anime Gabby's Dollhouse Clothes Cute Boys Gabby Cats Tee Children's Clothing Girls Summer Short Sleeve Tops Kids Summer T-shirt
aliexpress.com
4,571.97 руб.
M04 Subwoofer Amplifier for Home Theater Mono Channel Integrated Power Amplifier for Passive Speakers Subwoofer
aliexpress.com
1,472.94 руб.
2025 Spring New Baby Long Sleeve Clothes Set Kids Boys Girls Solid Sweatshirt + Pants 2pcs Suit Toddler Casual Sports Outfits
aliexpress.com
12,894.86 руб.
Dining room hotel minimalist bedroom salon trolley multifunction kitchen salon trolley carrello attrezzi beauty furniture HYST
aliexpress.com
1,772.02 руб.
Электрическая ракетка-пусковая установка, новые игрушки для изучения космоса, Skyrocket с парашютом, Детские уличные игрушки, детские игрушки, модель ракеты в комплекте
aliexpress.ru
3,127.10 руб.
Спортивный автомобиль Land Rover Range Rover, совместимый с глубокими бассейнами, дополнительный черный коврик для автомобиля
aliexpress.ru
8,095.97 руб.
Персонализированная книга для приготовления пищи, Подарочная тетрадь на заказ, журнал, записная книжка для семьи
aliexpress.ru
254.18 руб.
2 шт. граммофон запись Магнитный картридж стилус с Lp виниловая фотография фотографический стилус
aliexpress.ru
260.59 руб.
Роскошный чехол из овечьей кожи с логотипом спортивного автомобиля для Iphone 13 Pro Max11 14 12 Mini X Xr Xs 7 8 Puls Se, силиконовая задняя крышка
aliexpress.ru
630.23 руб.
Независимое одеяло, супермягкое, теплосветильник кое, тонкое, красные волосы, курение сигарет
aliexpress.ru
294.27 руб.
Asdfaf23r2tt металлические знаки, настенные таблички для пабов, дизайн кинотеатра, пещера, жестяной плакат
aliexpress.ru
6,815.46 руб.
Вечерние платья с рукавом 3/4, длинное официальное платье с аппликацией, вечернее праздничное платье
aliexpress.ru
7,205.95 руб.
Светодиодная подсветка 30 шт./лот для телевизора LG 32 дюйма innotek drt 3,0 32 LGIT drt3.0 WOOREE A B UOT 32MB27VQ 32LB5610 32LB552B 32LF5610
aliexpress.ru
7,204.35 руб.
66.028.105F лист держатель сепаратора, запасные части для печатной машины.
aliexpress.ru
3,608.19 руб.
2020 новый маленький шарф с принтом листьев шали Длинные мягкие пляжные вискозные листья головная повязка хиджаб шарфы Бесплатная доставка
aliexpress.ru
1,975.68 руб.
PGM зимние мужские утепленные брюки для гольфа, длинные брюки для гольфа, мужские высокоэластичные спортивные брюки, размер XXS-3XL, высокое качество
aliexpress.ru
288,068.25 руб.
2022 slimming sculpt emt emslim beauty slim ems body sculpting machine ems muscle stimulator em stimulant
dhgate.com
1,941.22 руб.
Dames Zwemkleding Tankini 2 stuks Grote maten Zwempak Opdrukken Flora Zwart Wit Geel Roze Hemelsblauw Singlet Badpakken Sportief Zomer
lightinthebox.com
159.56 руб.
HIERKYST 20mm Green Crystal Balls Suncatcher Prisms Pendants for Chandeliers Parts Lamp Rainbow Hanging Drops 2 pcs #2048-2B
aliexpress.com
3,768.55 руб.
940183 Harlan Jeans Female Loose Joker Elastic Waist Gao Waist Slimming Plus Velvet Torre Pants
aliexpress.com
121.07 руб.
HIP Hop Bling Iced Out Micro Pave Gold Color Square Ring Male Big CZ Stone Hip Hop Ring for Men Jewelry BoyFriend Gift
aliexpress.com
2,589.88 руб.
KMen's sportswear short-sleeved golf T-shirt 3colors golf apparel S-XXL choose casual golf apparel free shipping
aliexpress.com
