Расчет вакуумных систем технологического оборудования

Расчет вакуумных систем технологического оборудования
sku: 69374935
144.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
   Technical Details
age: 0
author: Валерий Михайлов
genres_list: 5311,5314,5661,5674,159638,275629
ISBN: 978-5-7038-5813-4
lang: ru
publisher: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Type: book
year: 2022
Форматы: PDF

Customers also viewed