Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
sku: 30824393
248.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
   Technical Details
age: 0
author: Геннадий Кузнецов
genres_list: 5314,5763
lang: ru
publisher: МИСиС
Type: book
year: 2005
Форматы: PDF
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed