Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Description
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.ISBN:978-5-9963-0032-7
Technical Details
| author: | Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович |
| binding: | 60x90/16 |
| ISBN: | 978-5-9963-0032-7 |
| language: | Русский |
| page_extent: | 283 |
| publisher: | Бином. Лаборатория знаний |
| series: | Нанотехнологии |
| Type: | book |
| Weight: | 0.4 кг. |
| year: | 2012 |
| Автор: | Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович |
| Год издания: | 2012 |
| Дата обновления позиции: | 03-53-2020 |
| Доставка/Оплата: | Товар под заказ. До 25 рабочих дней |
| Издательство: | Бином. Лаборатория знаний |
| Код товара: | 398952 |
| Количество страниц: | 283 |
| Переплет: | Твердый |
| Серия: | Нанотехнологии |
| Формат: | 60x90/16 |
| Язык произведения: | Русский |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
432.45 грн.
Шторка-занавеска для ванной JOYARTY Сердечные медузы sc_55787, Бирюзовый, Сердечные медузы
vseinstrumenti.ru
1,401.57 грн.
Грунтовый ландшафтный садово-парковый светильник Gauss Sonata GD155, Sonata
vseinstrumenti.ru
502.01 грн.
Fence Netting,Chicken Wire Fence,Temporary Chicken Wire Mesh Roll for Snake
aliexpress.com
2,022.78 грн.
Mid Century Modern Entertainment Center with 4 Open Shelves Farmhouse TV Media Console Table for Living Room
aliexpress.com
2,717.83 грн.
for Kobelco SK SK120/200/230/250-5-6-8 Excavator Hydraulic Pump and Low Pressure Sensor Package Email Excavator Accessories
aliexpress.com
4,342.72 грн.
Large Soft Handbag Crossbody 2024 Capacity Leather Bag Women _DG-149830295_
aliexpress.com
16,089.08 грн.
LORA LORAWAN Digital RS485 4-20mA 0.4-3VDC UART ICC PWM Output Water Dissolved CO2 Sensor
aliexpress.com
36,458.48 грн.
SUMMER SALES DISCOUNT ON DEALS PSR S975 61-KeyPiano Digital Piano Portable Digital China Keyboard Piano Black Cover W/ A
aliexpress.com
5,058.00 грн.
Hot sale! Factory price Hand blown glass wall art Hotel Decorative Blown Glass Wall Art Custom Made Glass Plates
aliexpress.com
576.19 грн.
2pcs Bicycle gear derailleur hanger For Cervelo #DRH-R-2003 R2.5 R3 S1 S2 S3 Soloist Dual Bergamont Teschner Sette Mech dropout
aliexpress.com
2,493.59 грн.
Зимняя женская меховая шапка, русская новая теплая шапка высокого класса из лисьего меха, трендовая утолщенная шапка с защитой от ветра и ушей
aliexpress.ru
267.23 грн.
Вакуумные игрушки, аксессуары для дома, маленькая ручная уборка, наборы для ролевых игр для малышей, имитация санитарной посуды для детей, игрушки
aliexpress.ru
349.85 грн.
3-Х Колесный инструмент для мебели, переключатель передач, движущееся колесо, съемник слайдера, тяжелый ролик
aliexpress.ru
131.51 грн.
3D Mascara Waterproof Lengthening Curling Black Lash Eyelash Extension Natural Curl Volumizing Makeup Long-wearing Mascara
aliexpress.com
77.71 грн.
50//200pcs Multi Size Silicone Material Clip Set, Fishing Swivels Snap, Fishing Accessories For Freshwater, Rolling Connector, Line Clip
temu.com
5,001.88 грн.
Уценка, Подвесной унитаз безободковый «Cerutti» Arno Aria 2622E белый с сиденьем дюропласт с микролифтом белое
blumart.ru
483.46 грн.
Drawstring Wide Leg Pants, Solid Loose Palazzo Pants, Casual Every Day Pants, Women's Clothing
temu.com
3,194.75 грн.
new women's pajamas set style painting print sleepwear satin silky touch homewear v neck nightie casual home suit
fordeal.com
1,156.17 грн.
girls designer handbags fashion woman silk scarves bowknot crossbody bag lady style pu accessories casual one shoulder bags mini wallet f499, Black
dhgate.com
334.25 грн.
decorative flowers & wreaths red pink artificial peony tea rose autumn silk fake for diy living room home garden wedding decoration
dhgate.com
493.58 грн.
2.4 G Controller Gamepad Android Wireless Joystick Joypad with OTG Converter For Tablet PC Smart TV Box For PS3/Smart Phone
aliexpress.ru
181.25 грн.
3D Printer Cooling fan 2510 3010 4010 5010 6015 mm With 2Pin Dupont Wire Cooler 30cm Wire DC 5V 12V 24V Multiple options.
aliexpress.ru
392.42 грн.
1-16Pcs Creative LED DIY Quantum Night Light Wall Lamp Touch Sensitive Sensor Modular Hexagonal LED Magnetic Home Decor Lamp
aliexpress.com
155.11 грн.
100 pieces of fabric heart diameter 3 2x3 2 cm holiday wedding party activities confetti tabletop decoration birthday party scen
joybuy.com
56.06 грн.
10 шт., прозрачные папки для файлов с выдвижной планкой, зажим для тяги, папка для документов для школы, офиса, бизнеса, прозрачный органайзер B5, размер B5
aliexpress.ru
1,248.90 грн.
Классическая мужская кожаная обувь, весенне-осенняя новая модная универсальная повседневная обувь на платформе, лоферы, британские кожаные кроссовки, туфли на плоской подошве
aliexpress.ru
84.30 грн.
Бумага для этикеток Рулон для термопечати Самоклеящиеся этикетки Съемная печатная заправка
aliexpress.ru
36.25 грн.
Roman Pole Decorative Head End Curtain Rods for Windows Curtains Finials Ends Double
aliexpress.ru
21,979.12 грн.
Italian rock slab dining table and chair combination home modern simple dining table
aliexpress.ru
1,100.96 грн.
Оригинальный чехол Hot Wheels 1:64 Team Transport 2025G, набор Toyota Honda Plymouth, модель автомобиля, игрушки, литой автомобиль Flf56
aliexpress.ru
3,409.09 грн.
curved, lamb wool, fabric sofa, light luxury small apartment, living room, reception
aliexpress.ru
1,111.92 грн.
Женский хлопковый жилет с воротником-стойкой, наполненный вручную, верхняя одежда без рукавов, осень-зима, модный однотонный полиэфирное волокно
aliexpress.ru
2,021.94 грн.
Аниме Arknights Revealing Artoria, карнавальный костюм, парик, игровая боевая форма, юбка, аксессуары, женский сексуальный маскарадный бальный костюм
aliexpress.ru
2,257.13 грн.
G5GB Теплостойкую силиконовую плесень для украшений для торта Черный сахар.
aliexpress.ru
2,647.44 грн.
Модуль компьютерной платы задней двери багажника автомобиля 20954189 для Cadillac SRX
aliexpress.ru
1,269.14 грн.
32 упаковки верхних загрузчиков для карточек, 5X7, фоторукава, жесткий жесткий пластиковый рукав для карточек, водонепроницаемые держатели для фотографий, торговля открытками, бейсбол
aliexpress.ru
458.59 грн.
Крышка для хранения на открытом воздухе, защитный чехол для садового генератора, защитный чехол для генератора для кемпинга
aliexpress.ru
844.69 грн.
Для Honda CBR150R CBR150 CBR 150R 150R 2019-2021 катушки маятника подставка винт мотоцикла переднее и заднее колесо ось вилка аварийный слайдер
aliexpress.ru
847.22 грн.
KS3PhysicsWorkbookHigher CGP Книги Координация Групповые публикации 9781841464398 Книга
aliexpress.ru
