Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
sku: 30824241
548.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
   Technical Details
age: 0
author: Аскер Кушхов
genres_list: 5763,6845
publisher: МИСиС
Type: book
year: 2007
Форматы: PDF
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed