Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов 2-е изд. испр.
Description
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей вузов.
Technical Details
| author: | Красников Г.Я. |
| ISBN: | 978-5-94836-289-2 |
| publisher: | Техносфера |
| Type: | book |
| year: | 2011 |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
8%
1,750.00 руб.
Анисимова Е.С. (Ведьма Чёрная ночь) "Книга Ведьмы: Введение в практическую Чёрную Магию"
happywitch.ru
7%
1,340.00 руб.
Крючкова О., Крючкова Е. "Большая магическая книга рун и древних символов"
happywitch.ru
4%
2,590.00 руб.
Крючкова О., Крючкова Е. "Магия северных богов. Девять миров Иггдрасиля"
happywitch.ru
1%
1,230.00 руб.
Е. Коломенская "Таро Нефертари и Таро Сфинкса. Вслед за Солнечной Ладьей"
happywitch.ru
1%
1,230.00 руб.
Крючкова О.,Крючкова Е. "1000 и один совет для практической магии. Старинный лечебник и обережник"
happywitch.ru
1%
970.00 руб.
Нида Ченагцанг "Тибетский фэншуй саче. Гармония пространства и мудрость исцеления", 3-е издание
happywitch.ru
1%
1,190.00 руб.
Крючкова О., Крючкова Е. "Магия воска, свечей и заговоров. Огненная магия древних славян"
happywitch.ru
1%
890.00 руб.
О. Крючкова, Е. Крючков "Книга Ведуньи или магические инструменты для сохранения рода"
happywitch.ru
1%
1,650.00 руб.
Станислав Гроф "За пределами мозга: рождение, смерть и трансценденция в психотерапии", 4-е издание
happywitch.ru
1%
1,371.00 руб.
Простые решения, Липосомальный витамин С с витамином Е, капсулы, 60 шт., капсулы, 60 шт.
itab.pro
1%
450.00 руб.
Eqville, Комплекс детский (Омега-3 с витаминами Е и Д (малина и травы), капсулы, 120 шт., капсулы, 120 шт.
itab.pro
1%
490.00 руб.
Eqville, Комплекс детский (Омега-3 с витаминами Е и Д) со вкусом клубники, капсулы, 120 шт., капсулы, 120 шт.
itab.pro
+4%
1%
455.00 руб.
Книга "Тот, который... Книжка на ночь для шалунишек", А. Выгон, Е. Шерстнева
bunnyhill.ru
1%
~ 2,030.00 руб.
gifted girl singer peripheral printed cotton short sleeve for and women gifted girl t-shirt singer peripheral printed cotton short sleeve t, Black
dhgate.com
