Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Description
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10 11 –10 12 см –3 ), минимальный разброс ионов по энергиям (Δei ≤ 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10 –2 ÷ 10 –1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30÷80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ЮР для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого – систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Technical Details
age: | 0 |
author: | Л. А. Сейдман |
genres_list: | 5311,55135,60285,115905,138002,200550 |
ISBN: | 978-5-94836-519-0 |
litres_isbn: | 978-5-04-195799-5 |
publisher: | Техносфера |
Type: | book |
year: | 2018 |
Форматы: |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
![Ленен Лазарь Републикен "Каббалистическая наука, или искусство узнавать добрых духов."
Ленен Лазарь Републикен "Каббалистическая наука, или искусство узнавать добрых духов."](http://happywitch.ru/upload/images/products/560/560c32d9-8d11-11e4-bce8-acf1df405960.jpg)
5%
553.00 руб.
Ленен Лазарь Републикен "Каббалистическая наука, или искусство узнавать добрых духов."
happywitch.ru![Рудольф Штайнер "Оккультные знаки и символы в их взаимодействии с астральными и духовными мирами"
Рудольф Штайнер "Оккультные знаки и символы в их взаимодействии с астральными и духовными мирами"](http://happywitch.ru/upload/images/products/5e2/5e2686b9-e95e-11ea-bbd5-0cc47a345491.jpg)
1%
490.00 руб.
Рудольф Штайнер "Оккультные знаки и символы в их взаимодействии с астральными и духовными мирами"
happywitch.ru![Красивая и святая богиня леса, скульптура, ремесла из смолы, украшения, хрустальный шар, базовое украшение для стола, украшения для гостиной
Красивая и святая богиня леса, скульптура, ремесла из смолы, украшения, хрустальный шар, базовое украшение для стола, украшения для гостиной](http://ae-pic-a1.aliexpress-media.com/kf/Scf222a87b2044a46adcddf574a2c7629U.jpg)
-6%
1%
~ 1,360.00 руб.
Красивая и святая богиня леса, скульптура, ремесла из смолы, украшения, хрустальный шар, базовое украшение для стола, украшения для гостиной
aliexpress.ru![wholesale factory ladies shoulder bags 5 colors winter soft lambswool cloud bag sweet little fresh plush fashion handbag personality leather
wholesale factory ladies shoulder bags 5 colors winter soft lambswool cloud bag sweet little fresh plush fashion handbag personality leather](http://www.dhresource.com/600x600/f3/albu/ry/s/24/79c0b9ef-0b08-467f-9d82-06929b59fc64.jpg)
1%
2,907.02 руб.
wholesale factory ladies shoulder bags 5 colors winter soft lambswool cloud bag sweet little fresh plush fashion handbag personality leather
dhgate.com![Squid Game Hoodies Cosplay Korean Drama Merch Print Men Women Pullovers Sweatshirts Casual Streetwear Outfits 2021 Top
Squid Game Hoodies Cosplay Korean Drama Merch Print Men Women Pullovers Sweatshirts Casual Streetwear Outfits 2021 Top](http://ae04.alicdn.com/kf/H407c68b1308c40188b11098e86e73e9ah.jpg)
-7%
1%
~ 1,200.00 руб.
Squid Game Hoodies Cosplay Korean Drama Merch Print Men Women Pullovers Sweatshirts Casual Streetwear Outfits 2021 Top
aliexpress.com![Ослепительные изумрудные серьги-гвоздики 2,мм SI класса натуральный изумруд серьги Твердые 925 Серебряные изумрудные серьги маленькие драгоценные камни серьги
Ослепительные изумрудные серьги-гвоздики 2,мм SI класса натуральный изумруд серьги Твердые 925 Серебряные изумрудные серьги маленькие драгоценные камни серьги](http://ae-pic-a1.aliexpress-media.com/kf/H604337470c964684a941e6bd5a3c0d8a1.jpg)
-3%
1%
~ 2,770.00 руб.
Ослепительные изумрудные серьги-гвоздики 2,мм SI класса натуральный изумруд серьги Твердые 925 Серебряные изумрудные серьги маленькие драгоценные камни серьги
aliexpress.ru![Fashion Ear Hook No Ear Hole Female 2021 New Fashion Ear Clip TASSEL EAR Bone Clip Cool
Fashion Ear Hook No Ear Hole Female 2021 New Fashion Ear Clip TASSEL EAR Bone Clip Cool](http://ae04.alicdn.com/kf/H346552856f27407291eb24435885cfc3L.jpg)
1%
~ 202.00 руб.
Fashion Ear Hook No Ear Hole Female 2021 New Fashion Ear Clip TASSEL EAR Bone Clip Cool
aliexpress.ru![L2 Grip 2021 Tennis Racket Carbon Composite Racket Men And Women Ultra Light Dampener Raquete De Tennis Paqueta -40
L2 Grip 2021 Tennis Racket Carbon Composite Racket Men And Women Ultra Light Dampener Raquete De Tennis Paqueta -40](http://ae04.alicdn.com/kf/H4533b6e13eae49fd9eca461b43b7fcb2w.jpg)
-5%
1%
~ 3,060.00 руб.
L2 Grip 2021 Tennis Racket Carbon Composite Racket Men And Women Ultra Light Dampener Raquete De Tennis Paqueta -40
aliexpress.com![Attack On Titan Anime Phone Case For iPhone 12 11 Mini Pro XR XS Max 7 8 Plus X Matte transparent Gray Back Cover
Attack On Titan Anime Phone Case For iPhone 12 11 Mini Pro XR XS Max 7 8 Plus X Matte transparent Gray Back Cover](http://ae04.alicdn.com/kf/H700b8186f1d8453397e4f8433b08a9ceD.jpg)
1%
~ 222.00 руб.
Attack On Titan Anime Phone Case For iPhone 12 11 Mini Pro XR XS Max 7 8 Plus X Matte transparent Gray Back Cover
aliexpress.com![Куртка детская Batik 540-23в-146-76-2-01 цвет латте, размер 128, Коричневый, 540-23в-146-76-2-01
Куртка детская Batik 540-23в-146-76-2-01 цвет латте, размер 128, Коричневый, 540-23в-146-76-2-01](http://main-cdn.sbermegamarket.ru/hlr-system/-17/103/906/142/822/51/100048818668b0.jpg)
1%
4,340.00 руб.
Куртка детская Batik 540-23в-146-76-2-01 цвет латте, размер 128, Коричневый, 540-23в-146-76-2-01
goods.ru![Winter Snow House Canvas Painting Deer Squirrel Wall Art Print Forest Tree Posters Nordic Poster Wall Pictures Living Room Decor
Winter Snow House Canvas Painting Deer Squirrel Wall Art Print Forest Tree Posters Nordic Poster Wall Pictures Living Room Decor](http://ae04.alicdn.com/kf/S47383efe0cd34b4d98356e8028da56002.jpg)
-5%
1%
~ 635.00 руб.
Winter Snow House Canvas Painting Deer Squirrel Wall Art Print Forest Tree Posters Nordic Poster Wall Pictures Living Room Decor
aliexpress.com![KUBBLE Microplate Centrifuge for Laboratory Universal Centrifuge Table Top Microplate centrifuges
KUBBLE Microplate Centrifuge for Laboratory Universal Centrifuge Table Top Microplate centrifuges](http://ae01.alicdn.com/kf/S58146a8213584f26be799463a8fb7d75C.jpg)
-4%
1%
~ 44,940.00 руб.
KUBBLE Microplate Centrifuge for Laboratory Universal Centrifuge Table Top Microplate centrifuges
aliexpress.ru