Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Description
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Technical Details
| author: | Юрий Борисович Цветков |
| ISBN: | 978-5-70-384864-7, 978-5-7038-4864-7 |
| page_extent: | 122 |
| publisher: | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
| Type: | book |
| Weight: | 0.409 |
| year: | 2019 |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
2,565.82 руб.
N140BGE-L43/14 inch laptop LCD screen, 40 pins wholesale in stock, brand new and original.
aliexpress.com![Custom. [Exquisite Details] Jewelry Jewelry Gold Jade Iron Jewelry Display Cabinet Showcase Watch Jade Glasses Show](http://ae-pic-a1.aliexpress-media.com/kf/S145a73777eb0440da07e0de2f8ff65adE.jpg "Custom. [Exquisite Details] Jewelry Jewelry Gold Jade Iron Jewelry Display Cabinet Showcase Watch Jade Glasses Show")
21,193.69 руб.
Custom. [Exquisite Details] Jewelry Jewelry Gold Jade Iron Jewelry Display Cabinet Showcase Watch Jade Glasses Show
aliexpress.com
809.84 руб.
Solid Tuya Smart Wifi 4 Channel Relay With Temperature Humidity Sensor Passive Dry Contact Switch RF433 For Alexa Alice
aliexpress.com
7,846.60 руб.
901 gasoline engine gearbox micro tiller rotary tiller scarifier gearbox chain box agricultural base
aliexpress.com
3,548.05 руб.
Motorcycle Integrated LED Tail Light Rear Warning Lamp Turn Signal Indicator for Yamaha XJ6 FZ6R Diversion 600 2009-2014
aliexpress.com
22,074.89 руб.
12V 24V EGS-PM2.1 sensor 0281007555/548 0281007931 0281007961/962 particle catcher sensor
aliexpress.com
36,534.10 руб.
Counter Height Bar Stools Set Of 2,Swivel Barstools For Kitchen Island,26.4"" H Seat Height,Faux Leather,White
aliexpress.com
11,305.65 руб.
Linen 2025 White Blue Bird Floral Print Long Sleeve V Neck Midi Dress High Quality
aliexpress.com
1,094.48 руб.
FOR KAWASAKI ER 5 Accessories ER5 1997 1998 2001 2002 2003 2005 2006 Motorcycle Handle Grips Guard Brake Clutch Levers Protector
aliexpress.com
1,497.80 руб.
New Control Board M.NT68676 Monitor Kit for LP156WH2(TL)(RB) LP156WH2-TLRB HDMI+DVI+VGA LCD LED screen Controller Board Driver
aliexpress.com
1,084.86 руб.
Durable Self Adhesive Acoustic Foam Panels Fireproof Soundproofing Treatment Wall Panel,Reduce Noise Foam For Studio,Etc
aliexpress.com
5,632.78 руб.
2 Pieces OEM 4806135050 Toyot-a BUSH, FRONT LOWER ARM, NO.1, RH/LH 48061-35050
aliexpress.com
2,097.56 руб.
American-Style Quick-Drying Overalls Women's Summer Thin High Waist Loose Drawstring Ankle-Tied Sports Casual Wide-Leg Pants
aliexpress.com
687.16 руб.
3Pcs Orange+Black Tool Purse Set Garden Scissors Electric Pruning Shears Gardening Electric Scissors Portable Purse CX
aliexpress.com
126.69 руб.
New Host Case PC Cooler Fan Power Cable 1 Female to 5 Male 4Pin Socket Fan Hub Splitter Cable for 4Pin PWM Cooling Fan
aliexpress.com
177.20 руб.
NEW Original LAPTOP HDD Bracket Cable For Dell Alienware 15 R3 R4 0GWD21 GWD21 0KG0TX KG0TX DC02C00DD00
aliexpress.com
987.04 руб.
5Pcs Miniature Rainbow Wood Nut Acorn Pendant Mini Cremation Urns for Ashes Box Pendants Openable Wood Acorn Charms for DIY
aliexpress.com
181.21 руб.
2 Pcs Couple Gift Ring Watch for Girls Women Mini Portable Watches White Lovers
aliexpress.ru
1,236.41 руб.
Аккумулятор для ASUS Transformer Book T200TA T200T 1A T300CHI PAD TF103C TF103CX TF701T C21N1334 C11P1328 C11P1421 C12N1406 C12P1305
aliexpress.ru
1,532.28 руб.
Колпачки клавиш Crystal Jelly, полупрозрачный OEM-профиль с боковой печатью для механических клавиатур Cherry MX, 136 колпачков для клавиш
aliexpress.ru
1,744.76 руб.
Hand Warmer Grip Smart Temperature Control Adjustable Hot Grip Handle Waterproof ATV Handlebar Heater For Motorcycles
aliexpress.com
2,920.23 руб.
Large Capacity Hiking Backpack - Multiple Compartments for Outdoor Adventures, Camping and Traveling, Travel Backpack
aliexpress.com
480.29 руб.
Turkey Fryer Cover 50cm/79.9cm/69.9cm 210D Oxford Fabric Waterproof Cover For CreoleFeast/for King Kooker, For Crab Kettle
aliexpress.ru
192.44 руб.
Halloween Pet Clothes Dog Sweaters Skull Pattern Glow in Dark Cat Costumes Party Wear Large Dogs Premium Material
aliexpress.ru
115.46 руб.
H9EB Counter Service Pen с Base Ballpoint Pen Penception Pen для банковской свадьбы
aliexpress.ru
1,060.81 руб.
Winter Platform Cowboy Boots Women Shoes Fashion Slip on Mid Heel Bota Ladies Retro Mordern Bootties
aliexpress.ru
760.93 руб.
Natural Green Jade Roller Jade Stone Guasha Board Yoni Egg Set Facial Massager Lifting Tool Face Roller Jade Egg Kegel Exerciser
aliexpress.com
234.13 руб.
Accessories String Pegs Acoustic Guitar Tuning Buttons White Plastic Bridge Pins
aliexpress.ru
152.35 руб.
Self-Adhesive Data Cable Organizers Mini Silicone Clips For Earphones Keyboard Mouse And Cord Management 4Pcs
aliexpress.ru
