Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
Издательский Дом Интеллект
sku: 6360761
ACCORDING TO OUR RECORDS THIS PRODUCT IS NOT AVAILABLE NOW
1,584.00 руб.
Shipping from: Russia
Description
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
.
.
.
.
Technical Details
| author: | Киреев В. |
| cbid: | 0 |
| ISBN: | 978-5-91559-215-4 |
| language: | rus |
| nodiscount: | no |
| page_extent: | 320 |
| publisher: | Издательский Дом Интеллект |
| Type: | book |
| year: | 2016 |
| Код номенклатуры: | ORS254486055267295 |
Price history chart & currency exchange rate
Customers also viewed
4,279.48 руб.
VGH Spliced Sheer Mesh Sexy Midi Dresses for Women Suqare Collar Long Sleeve High Waist Pleated Party Dress Female Clothing New
aliexpress.com
6,388.48 руб.
Часы ADDIESDIVE для мужчин, винтажные суперсветящиеся автоматические механические часы Relogios Masculino с сапфировым стеклом
aliexpress.com
2,871.86 руб.
95760-G3000 Новая камера заднего вида, камера заднего вида, вспомогательная камера для парковки, резервная камера для Hyundai I30 Elantra 2017-
aliexpress.com![Glass Containers for Food Storage with Lids, [10-Pack] Meal Prep Containers for Kitchen, Home Use, BPA Free](http://ae-pic-a1.aliexpress-media.com/kf/Saba95d1aeb1b47ef9a563910af4524574.jpg "Glass Containers for Food Storage with Lids, [10-Pack] Meal Prep Containers for Kitchen, Home Use, BPA Free")
2,658.29 руб.
Glass Containers for Food Storage with Lids, [10-Pack] Meal Prep Containers for Kitchen, Home Use, BPA Free
aliexpress.com
3,675.17 руб.
2 шт., зарядный адаптер для электромобиля, 32 А, Тип 2-GBT EV, 7.2A IEC 62196 до GB/T EV
aliexpress.com
384.26 руб.
50Pcs Meetee 15-25mm Round Metal Buttons Snap Buckle for Sewing Jacket Coat Button Jeans Shirt Decor Clasp Garment Accessories
aliexpress.com
86.56 руб.
Drain Basket Collapsible Portable Foldable Adjustable Para Storage Organizer Rack Kitchen Containers Cutlery Filter
aliexpress.com
469.21 руб.
Sanrio Cartoon Gel Pen 12-48pcs Hello Kitty Happy New Year Creative 0.5 Black School Stationery Office Signature Pens Wholesale
aliexpress.com
338.96 руб.
10 пар коротких накладных ресниц, натуральный жесткий стержень, может поддерживать двойные веки, накладные ресницы, толстые вьющиеся
aliexpress.ru
1,771.66 руб.
Fashion Black Summer Midi Long Dress Women Elegant Short Sleeved A-LINE Belt Tunic Office Ladies Work Dresses
aliexpress.com
1,060.57 руб.
2 шт. пивная кружка в форме бочонка, чашки для чая ручной работы для кофе, горячих напитков, молока, вина, 210 мл
aliexpress.com
2,109.00 руб.
Автоматическая дверь курятника с солнечной батареей, встроенный датчик, водонепроницаемая дверь курятника, легкая установка, электрическая дверь курятника
aliexpress.com
633.43 руб.
RGB LED Car Diffuser Car Atmosphere Light Air Conditioner Air Outlet Pendant Voice Controlled Music Rhythm
aliexpress.com
451.41 руб.
Upgraded Micro Scissors with Straight/Curved for Head Inner Barrier Cut Stainless Steel Scissors Multipurpose Scissors
aliexpress.com
15,764.50 руб.
New Car Sunroof Folding Soft Top Curtain Assembly Blcak Gray Beige For VW Touran 2011-2016 1K9-898-912-B 1T0 877 307 A
aliexpress.com
355.14 руб.
Cat Full Round Stones Animal Cartoon 5d Diamond Painting Diamond Embroidery Cross Stitch Rhinestone Picture Diamant New
aliexpress.com
5,301.22 руб.
Askar Losmandy-Style Universal Multi-Functional Dovetail Plate LDP 200mm 300mm 400mm Color
aliexpress.com
2,011.92 руб.
SKY ZONE Glue for Eyelash Extension Last Over 6 Weeks Fast Drying Professional Eyelash Glue from Korea 5g/Bottle 4 Bottles/Lot
aliexpress.com
23,800.00 руб.
Неттоп Intel NUC Frost Canyon BXNUC10i5FNKPA2 Black (1000548401), NUC Frost Canyon BXNUC10i5FNKPA2
goods.ru
2,157.38 руб.
Damen Sweatshirt Pullover Zur Seite fahren Basic Neon und Hell Weiß Rosa Rote Feste Farbe Strasse Casual V Ausschnitt Langarm Oberteil Mikro-elastisch Herbst Winter
lightinthebox.com
838.93 руб.
1 paio Orecchini a goccia For Per donna Formale Matrimonio Ufficio Lega Corpo a pera Matrimonio
lightinthebox.com
4,093.98 руб.
Bodycology Moisturizing Body Cream For Women, Irresistibly Lovely, 8.0 Fluid Ounce(236.59 ml)
flipkart.com
2,391.37 руб.
Rega IT TOSHIBA MINI NB205-SP2921C, NB205-SP2921R Laptop Keyboard Replacement Key
flipkart.com
