Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
thumb
thumb
thumb
thumb
thumb
thumb
Издательский Дом Интеллект
sku: 6360761
ACCORDING TO OUR RECORDS THIS PRODUCT IS NOT AVAILABLE NOW
1,584.00 руб.
Shipping from: Russia
   Description
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
.
.
   Technical Details
author: Киреев В.
cbid: 0
ISBN: 978-5-91559-215-4
language: rus
nodiscount: no
page_extent: 320
publisher: Издательский Дом Интеллект
Type: book
year: 2016
Код номенклатуры: ORS254486055267295
   Price history chart & currency exchange rate

Customers also viewed