Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
БИНОМ
sku: 108088
300.00 грн.
Shipping from: Ukraine
Description
277 стр. Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.ISBN:978-5-94774-904-5
Technical Details
author: | Громов Дмирий Геннадьевич, Мочалов Алексей Иванович, Сулимин Александр Дмитриевич |
binding: | 60x90/16 |
ISBN: | 978-5-94774-904-5 |
language: | Русский |
page_extent: | 277 |
publisher: | БИНОМ |
Type: | book |
year: | 2009 |
Price history chart & currency exchange rate